Production method for composition for forming liquid immersion upper layer film

液浸上層膜形成用組成物の製造方法

Abstract

【課題】金属等の不純物の少ない液浸上層膜形成用組成物の製造方法を提供する。 【解決手段】液浸上層膜用重合体の単量体または前記単量体を重合して得られた重合溶液を、カチオン交換基を有するイオン交換樹脂に接触させる工程を含む液浸上層膜形成用組成物の製造方法である。 【選択図】なし
<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a production method for a composition for forming a liquid immersion upper layer film can reduce an impurity such as metal. <P>SOLUTION: This production method for the composition for forming the liquid immersion upper layer film includes a process for bringing a monomer for a liquid immersion upper layer polymer or a polymerization solution obtained by polymerizing the monomer, into contact with an ion exchange resin having a cation exchange group. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

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